多チャンネルQCMを用いたディファレンシャル・スパッタリングの計測

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: 多チャンネルQCMを用いたディファレンシャル・スパッタリングの計測
• 著者・編者: 西村, 太一郎; 小泉, 宏之; 國中, 均; 山極, 芳樹; Nishimura, Taichiro; Koizumi, Hiroyuki; Kuninaka, Hitoshi; Yamagiwa, Yoshiki
• 著者標目: 西村, 太一郎; 小泉, 宏之; 國中, 均; 山極, 芳樹; Nishimura, Taichiro; Koizumi, Hiroyuki; Kuninaka, Hitoshi; Yamagiwa, Yoshiki
• 出版事項: 宇宙航空研究開発機構
• 出版年月日等: 2010-02-26
• 出版年（W3CDTF）: 2010-02-26
• 並列タイトル等: Measurements of Differential Sputtering Yields Using Multi Channel Quartz Crystal Microbalance
• タイトル（掲載誌）: 宇宙航空研究開発機構研究開発報告: イオン加速グリッド耐久認定用数値解析 JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) ツールの研究開発ワークショップ論文集 = JAXA Research and Development Report
• 巻号年月日等（掲載誌）: JAXA-RR-09-004
• 掲載巻: JAXA-RR-09-004
• ISSN（掲載誌）: ISSN : 1349-1113
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: Ion engine, Ion optics, Grid life time, Sputtering, QCM
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 出版タイプ： NA; Workshop on research and development of JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) tool for numerical evaluation of ion engine grid lifetime; Life time assessment of an ion engine needs sputtering characteristics on grid material. Sputter yield on molybdenum due to xenon ion impingement was measured by a conventional weight loss technique using a miniature ion engine. New multiple Quartz crystal Microbalance (QCM) system, positioned in hemispherical on the target plane, revealed the differential sputtering yields. The resulted sputtering yields agreed with the data given by the other conventional methods.; 形態: カラー図版あり; Physical characteristics: Original contains color illustrations; 資料番号: AA0064642008; レポート番号: JAXA-RR-09-004
• 掲載誌（NCID）: AA1192675X; https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA1192675X
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 宇宙航空研究開発機構 : 宇宙航空研究開発機構リポジトリ