「LSIプロセス診断技術」による民生用半導体部品の評価

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 「LSIプロセス診断技術」による民生用半導体部品の評価
• 著者・編者: 矢部, 一博; 田中, 大起; 岡, 克己; 久保山, 智司; 松田, 純夫; Yabe, kazuhiro; Tanaka, Daiki; Oka, Katsumi; Kuboyama, Satoshi; Matsuda, Sumio
• 著者標目: 矢部, 一博; 田中, 大起; 岡, 克己; 久保山, 智司; 松田, 純夫; Yabe, kazuhiro; Tanaka, Daiki; Oka, Katsumi; Kuboyama, Satoshi; Matsuda, Sumio
• 出版事項: 宇宙航空研究開発機構(JAXA)
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 並列タイトル等: The evaluation of commercial semiconductor devices by "The LSI Process Diagnosis Technology"
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 第16回マイクロエレクトロニクスワークショップ(2003年10月24日); 資料番号: ARDS03045000
• 関連情報: https://eeepitnl.tksc.jaxa.jp/mews/jp/16th/pdf/presen/day02/07.pdf
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 宇宙航空研究開発機構 : 宇宙航空研究開発機構リポジトリ