宇宙ナノエレクトロニクスCRのプロセス装置を用いた混成半導体集積回路の試作

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 宇宙ナノエレクトロニクスCRのプロセス装置を用いた混成半導体集積回路の試作
• 著者・編者: 薮田, 直人; パク, ヒョソン; 渡部, 達也; 小野田, 稜太; 後藤, 優花; 中岡, 俊裕; 正光, 義則; 内海, 淳; 川崎, 繁男; YABUTA, Naoto; PARK, Hyoseong; WATANABE, Tatsuya; ONODA, Ryota; GOTO, Yuka; NAKAOKA, Toshihiro; SHOHMITSU, Yoshinori; UTSUMI, Jun; KAWASAKI, Shigeo
• 著者標目: 薮田, 直人; パク, ヒョソン; 渡部, 達也; 小野田, 稜太; 後藤, 優花; 中岡, 俊裕; 正光, 義則; 内海, 淳; 川崎, 繁男; YABUTA, Naoto; PARK, Hyoseong; WATANABE, Tatsuya; ONODA, Ryota; GOTO, Yuka; NAKAOKA, Toshihiro; SHOHMITSU, Yoshinori; UTSUMI, Jun; KAWASAKI, Shigeo
• 出版事項: 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)
• 出版年月日等: 2020-01
• 出版年（W3CDTF）: 2020-01
• 並列タイトル等: Fabrication of HySIC using nano-technology fabrication equipment in JAXA nanoelectronics clean room
• タイトル（掲載誌）: 第20回宇宙科学シンポジウム 講演集 = Proceedings of the 20th Space Science Symposium
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 第20回宇宙科学シンポジウム (2020年1月8日-9日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)相模原キャンパス), 相模原市, 神奈川県; 20th Space Science Symposium (January 8-9, 2020. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)Sagamihara Campus), Sagamihara, Kanagawa Japan; 資料番号: SA6000152101; レポート番号: P1.75
• 一次資料へのリンクURL: https://jaxa.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=47027&item_no=1&attribute_id=31&file_no=1
• オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 宇宙航空研究開発機構 : 宇宙航空研究開発機構リポジトリ