宇宙ナノエレクトロニクスCRのプロセス装置を用いた混成半導体集積回路の試作

Material type: 文書・図像類

Author: 薮田, 直人ほか

Publisher: 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)

Publication date: 2020-01

Material Format: Digital

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Note (General)：: 第20回宇宙科学シンポジウム (2020年1月8日-9日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)相模原キャンパス), 相模原市, 神奈川県20th Space Science Symposium (January 8-9, 2020. Institute of Space an...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 宇宙ナノエレクトロニクスCRのプロセス装置を用いた混成半導体集積回路の試作
Author/Editor: 薮田, 直人
パク, ヒョソン
渡部, 達也
小野田, 稜太
後藤, 優花
中岡, 俊裕
正光, 義則
内海, 淳
川崎, 繁男
YABUTA, Naoto
PARK, Hyoseong
WATANABE, Tatsuya
ONODA, Ryota
GOTO, Yuka
NAKAOKA, Toshihiro
SHOHMITSU, Yoshinori
UTSUMI, Jun
KAWASAKI, Shigeo
Author Heading: 薮田, 直人
パク, ヒョソン
渡部, 達也
小野田, 稜太
後藤, 優花
中岡, 俊裕
正光, 義則
内海, 淳
川崎, 繁男
YABUTA, Naoto
PARK, Hyoseong
WATANABE, Tatsuya
ONODA, Ryota
GOTO, Yuka
NAKAOKA, Toshihiro
SHOHMITSU, Yoshinori
UTSUMI, Jun
KAWASAKI, Shigeo
Publication, Distribution, etc.: 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)
Publication Date: 2020-01
Publication Date (W3CDTF): 2020-01
Alternative Title: Fabrication of HySIC using nano-technology fabrication equipment in JAXA nanoelectronics clean room
Periodical title: 第20回宇宙科学シンポジウム講演集 = Proceedings of the 20th Space Science Symposium
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 第20回宇宙科学シンポジウム (2020年1月8日-9日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)相模原キャンパス), 相模原市, 神奈川県
20th Space Science Symposium (January 8-9, 2020. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS)Sagamihara Campus), Sagamihara, Kanagawa Japan
資料番号: SA6000152101
レポート番号: P1.75
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 宇宙航空研究開発機構 : 宇宙航空研究開発機構リポジトリ