超高真空対応非接触容量 : 電圧法によるシリコンの清浄表面と不活性化表面の評価
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 吉田, 俊幸
- 出版年月日等
- 2001-03-23
- 出版年（W3CDTF）
- 2001
- 並列タイトル等
- Ultrahigh Vacuum Contactless Capacitance-Voltage Characterization of Clean and Passivated Silicon Surfaces
- 授与機関名
- 北海道大学Hokkaido University
- 報告番号
- 甲第5529号
- 学位
- 博士(工学)