ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 佐藤, 旦
- 並列タイトル等
- Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
- 授与機関名
- 広島大学Hiroshima University
- 報告番号
- 甲第7665号
- 学位
- 博士(工学)
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 内容の要旨, 審査の要旨
- オンライン閲覧公開範囲
- インターネット公開