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Coulomb blockade effects and conduction mechanism in extremely thin polycrystalline-silicon wires

資料種別
記事
著者
Kawamura, Kensakuほか
出版者
American Institute of Physics
出版年
2002-04-15
資料形態
デジタル
掲載誌名
Journal of Applied Physics 91 8
掲載ページ
p.5213-5220
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資料詳細

要約等:

<jats:p>Narrow (⩾95 nm) and extremely thin (∼7 nm) heavily phosphorous-doped polycrystalline-silicon (poly-Si) wires were fabricated by low-pressure c...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
2002-04-15
出版年(W3CDTF)
2002-04-15
タイトル(掲載誌)
Journal of Applied Physics
巻号年月日等(掲載誌)
91 8
掲載巻
91
掲載号
8
掲載ページ
5213-5220