フェムト秒レーザとナノ秒レーザによる有機薄膜レーザ加工

資料種別: 文書・図像類

著者: 津田, 紀生ほか

出版者: 愛知工業大学

出版年: 2015-09-30

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Organic thin film is processed by femtosecond and nanosecond laser. Surface properties are evaluated by observation with laser microscope，and processi...

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デジタル

資料種別: 文書・図像類
タイトル: フェムト秒レーザとナノ秒レーザによる有機薄膜レーザ加工
著者・編者: 津田, 紀生
牧野, 佑紀
小野, 秀介
山田, 諄
著者標目: 津田, 紀生
牧野, 佑紀
小野, 秀介
山田, 諄
出版事項: 愛知工業大学
出版年月日等: 2015-09-30
出版年（W3CDTF）: 2015-09-30
並列タイトル等: フェムトビョウレーザトナノビョウレーザニヨルユウキハクマクレーザカコウ
Organic Thin Film Laser Processing by Femtosecond Laser and Nanosecond Laser
タイトル（掲載誌）: 総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
巻号年月日等（掲載誌）: 17
掲載巻: 17
掲載ページ: 41-45
ISSN（掲載誌）: ISSN : 1344-9672
本文の言語コード: jpn
対象利用者: 一般
一般注記: Organic thin film is processed by femtosecond and nanosecond laser. Surface properties are evaluated by observation with laser microscope，and processing depth and area is measured. Radiation intensity from laser plasma near surface of organic thin film is observed using a spectrometer. Electron temperature is measured from the ratio of the spectral intensity. Femtosecond laser processing quality is better and the required laser energy is lower in comparison with nanosecond laser one.
identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/3065
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
掲載誌（NCID）: AA11484797
https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA11484797
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 愛知工業大学 : 愛知工業大学学術情報リポジトリ