文書・図像類

機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響

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機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響

資料種別
文書・図像類
著者
高木, 誠ほか
出版者
愛知工業大学
出版年
2020-11
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/3773

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デジタル

資料種別
文書・図像類
著者・編者
高木, 誠
岩田, 博之
坂, 公恭
出版事項
出版年月日等
2020-11
出版年(W3CDTF)
2020-11
並列タイトル等
キカイ ケンマ カコウ ガ シリコン タンケッショウ ノ ビコウゾウ ニ オヨボス エイキョウ
タイトル(掲載誌)
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
巻号年月日等(掲載誌)
22