文書・図像類

電子ビーム励起プラズマを用いた立方晶窒化ホウ素in-situ Mgドーピング技術の確立

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電子ビーム励起プラズマを用いた立方晶窒化ホウ素in-situ Mgドーピング技術の確立

資料種別
文書・図像類
著者
竹内, 和歌奈ほか
出版者
愛知工業大学
出版年
2022-10
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/4155

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デジタル

資料種別
文書・図像類
著者・編者
竹内, 和歌奈
高島, 成剛
山川, 晃司
出版事項
出版年月日等
2022-10
出版年(W3CDTF)
2022-10
並列タイトル等
デンシ ビーム レイキ プラズマ オ モチイタ リッポウショウ チッカ ホウソ in-situ Mg ドーピング ギジュツ ノ カクリツ
タイトル(掲載誌)
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
巻号年月日等(掲載誌)
24