資料に関する注記
一般注記：
- 各章末：文献
資料詳細
内容細目：
- 各章末：文献（提供元: 公共図書館蔵書）
要約等：
- 初学者のための“薄膜の物理”の入門書。薄膜についての最も基本的な現象、物理的性質について、どうしても知っておいて欲しい理論や実験結果を詳しく解説し、重要な応用にまで触れた。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
1 薄膜の製作法と膜厚測定法
1.1 真空蒸着法
1.2 スパッタリング法
1.3 気相成長法
1.4 膜厚の測定法
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