本文に飛ぶ
図書

故障物理研究委員会研究成果報告書 : 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の信頼性と微細化限界 平成14年度

図書を表すアイコン

故障物理研究委員会研究成果報告書 : 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の信頼性と微細化限界 平成14年度

資料種別
図書
著者
日本電子部品信頼性センター 編
出版者
日本電子部品信頼性センター
出版年
2003.3
資料形態
ページ数・大きさ等
287p ; 30cm
コレクション
-
すべて見る

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

関東

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
コショウ ブツリ ケンキュウ イインカイ ケンキュウ セイカ ホウコクショ : サイシン VLSI ヨウソ ギジュツ サンカマク ト タソウ ハイセン ノ シンライセイ ト ビサイカ ゲンカイ / サイシン ブイエルエスアイ ヨウソ ギジュツ サンカマク ト タソウ ハイセン ノ シンライセイ ト ビサイカ ゲンカイ
巻次・部編番号
平成14年度
著者・編者
日本電子部品信頼性センター 編
タイトル標目
故障物理研究委員会研究成果報告書 コショウ ブツリ ケンキュウ イインカイ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
著者標目
日本電子部品信頼性センター ニホン, デンシ, ブヒン, シンライセイ, センター
出版年月日等
2003.3
出版年(W3CDTF)
2003