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故障物理研究委員会研究成果報告書 : 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の信頼性と微細化限界 平成14年度

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故障物理研究委員会研究成果報告書 : 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の信頼性と微細化限界 平成14年度

Material type
図書
Author
日本電子部品信頼性センター 編
Publisher
日本電子部品信頼性センター
Publication date
2003.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
287p ; 30cm
Collection
-
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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コショウ ブツリ ケンキュウ イインカイ ケンキュウ セイカ ホウコクショ : サイシン VLSI ヨウソ ギジュツ サンカマク ト タソウ ハイセン ノ シンライセイ ト ビサイカ ゲンカイ / サイシン ブイエルエスアイ ヨウソ ギジュツ サンカマク ト タソウ ハイセン ノ シンライセイ ト ビサイカ ゲンカイ
Volume
平成14年度
Author/Editor
日本電子部品信頼性センター 編
Title Heading
故障物理研究委員会研究成果報告書 コショウ ブツリ ケンキュウ イインカイ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
Author Heading
日本電子部品信頼性センター ニホン, デンシ, ブヒン, シンライセイ, センター
Publication Date
2003.3
Publication Date (W3CDTF)
2003