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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ジツヨウ ウス バク プロセス : キノウ ソウセイ オウヨウ テンカイ
- 著者・編者
- 齊藤文良 編 ; 多賀康訓 編
- タイトル標目
- 実用薄膜プロセス ジツヨウ ウス バク プロセス
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2009.8
- 出版年（W3CDTF）
- 2009
- 数量
- ８，４１６ ; ２７ｃｍ