真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 真空
• タイトルよみ: シンクウ
• 巻次・部編番号: 42巻11号 1999年11月
• 著者標目: 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )典拠; 真空協会 シンクウ キョウカイ ( 00781289 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本真空協会
• 出版年月日等: 1999
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 出版表示等に関する注記: 1巻1号から14巻1号までの出版者: 真空協会
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号 - 50巻12号(2007年12月)
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Journal of the Vacuum Society of Japan Journal of the Vacuum Society of Japan; Journal of the Vacuum Society of Japan
• その他のタイトル: 真空技術 シンクウ ギジュツ
• ISSN（掲載誌）: 0559-8516
• ISSN-L（掲載誌）: 0559-8516
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• NDLC: ZN15
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 大きさの変更あり
• 改題等に関する注記: 合併前誌: 真空技術
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 改題前: 合併前 : 真空工業; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011966
• 改題後: 継続後 : Journal of the Vacuum Society of Japan; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008601226
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000011964; http://id.ndl.go.jp/bib/000000011964
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版

目次

〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 真空技術と地球環境

半導体製造技術の視点から (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 真空技術と地球環境)

解説 半導体業界における全フッ素化化合物(PFC)と地球温暖化対応 (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 真空技術と地球環境 ; 半導体製造技術の視点から)

解説 ドライエッチング装置における地球温暖化ガス削減の取り組み (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 真空技術と地球環境 ; 半導体製造技術の視点から)

解説 半導体製造装置からの全フッ素化合物(PFC)排出削減の取組 (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 真空技術と地球環境 ; 半導体製造技術の視点から)