電子材料

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 電子材料
• タイトルよみ: デンシ ザイリョウ
• 巻次・部編番号: 40巻3号 2001年3月
• 著者標目: 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ ( 00288100 )典拠
• 出版事項: 東京 : 工業調査会
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: 液晶ディスプレイ技術 エキショウ ディスプレイ ギジュツ
• ISSN（掲載誌）: 0387-0774
• ISSN-L（掲載誌）: 0387-0774
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 別冊とも
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-225
• 関連情報: 関連資料 : 実装技術ガイドブック; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007676016; 関連資料 : 電子ディスプレイ技術; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007719557; 関連資料 : 超LSI製造・試験装置ガイドブック; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007947898
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000015815; http://id.ndl.go.jp/bib/000000015815
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版

目次

全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置

21世紀を迎えた半導体製造装置 (全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置)

300mm/130nm対応の半導体製造装置の開発動向 (全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置)

300mm対応枚葉式エピタキシャル装置「HT3000」 (全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置)

300mm対応スピンコータ「SKYWALKシリーズ」 (全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置)