超LSI製造・試験装置ガイドブック

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 超LSI製造・試験装置ガイドブック
• タイトルよみ: チョウLSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック
• シリーズタイトル: 電子材料別冊
• 著者標目: 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ ( 00288100 )典拠
• 出版事項: 東京 : 工業調査会
• 出版年月日等: 1981-2009
• 出版年（W3CDTF）: 1981; 2009
• 刊行状態: 刊行終了
• 刊行頻度: 年刊
• 刊行巻次・年月次: 1982年版-2010年版
• 休・廃刊注記: 以後廃刊
• 数量: 冊
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 雑誌記事索引採録期間: 国立国会図書館雑誌記事索引 2003年版 2002.11～2005年版 2004.12
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1982年版-1991年版, 1994年版, 1997年版-2010年版; 1982年版から2002年版までは「電子材料」 (Z16-225) に合綴製本
• 請求記号: Z74-E698
• 関連情報: 関連資料; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015815
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007947898; http://id.ndl.go.jp/bib/000007947898
• 全国書誌番号: 01010331
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131