「プラズマプロセシング研究会」プロシーディングス

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 「プラズマプロセシング研究会」プロシーディングス
• タイトルよみ: プラズマ プロセシング ケンキュウカイ プロシーディングス
• 巻次・部編番号: 21巻 2004年1月28日-2004年1月30日
• 著者・編者: プラズマプロセシング研究会現地実行委員会 編
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: 京都 : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 刊行巻次・年月次: 7回 (平成2年1月25/26日)-
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Proceedings of the Symosium on Plasma Processing Proceedings of the Symosium on Plasma Processing
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 出版地, 大きさの変更あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z15-676
• 改題前: 継続前 : 「プラズマプロセシング研究会」資料 / 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会事務局 編; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000074693
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000074697; http://id.ndl.go.jp/bib/000000074697
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版