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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (93)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(93)

国立国会図書館請求記号
Z16-2540
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3331109
資料種別
雑誌
出版者
SEMIジャパン
出版年
1993-11
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1991-1999

刊行巻次:

[ ]-

一般注記:

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

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目次

  • SEMIテクノロジーシンポジウム93--1993年12月1日(水)~3日(金)幕張メッセ・国際会議場コンベンションホール

    プログラムチェアマン 沖エンシジニアリング(株) 常務取締役 溝上裕夫

  • 12月1日(水) コンベンションホールA

    SEMATECH Presitent&CEO William J.Spencer

    p1~107

  • 12月1日(水) コンベンションホールB

    セッションチェアマン:AVANSETECH Halbeitergasanlagenbau GmbH President 長谷川英晴 ; 日本電信電話(株)安全管理室長 早坂東亜

    p109~166

  • 12月2日(木) コンベンションホールA

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体技術研究所メモリ技術開発部課長 橋本一彦 ; (株)日立製作所 中央研究所ULSI研究センタ主任研究員 岡崎信次

    p167~277

  • 12月2日(木) コンベンションホールB

    セッションチェアマン:ソニー(株) 半導体生産技術センター副センター長 小島明 ; 大日本印刷(株) ミクロ製品事業部第3営業本部課長 加藤凡典

    p279~392

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
タイトルよみ
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
巻次・部編番号
(93)
著者・編者
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
著者標目
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版年月日等
1993-11
出版年(W3CDTF)
1993-11
刊行巻次・年月次
[ ]-