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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (93)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(93)

Call No. (NDL)
Z16-2540
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3331109
Material type
雑誌
Publisher
SEMIジャパン
Publication date
1993-11
Publication Frequency
-
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
View All

Notes on use

Holding issue:

1991-1999

Volume Range:

[ ]-

Note (General):

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

Table of Contents

  • SEMIテクノロジーシンポジウム93--1993年12月1日(水)~3日(金)幕張メッセ・国際会議場コンベンションホール

    プログラムチェアマン 沖エンシジニアリング(株) 常務取締役 溝上裕夫

  • 12月1日(水) コンベンションホールA

    SEMATECH Presitent&CEO William J.Spencer

    p1~107

  • 12月1日(水) コンベンションホールB

    セッションチェアマン:AVANSETECH Halbeitergasanlagenbau GmbH President 長谷川英晴 ; 日本電信電話(株)安全管理室長 早坂東亜

    p109~166

  • 12月2日(木) コンベンションホールA

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体技術研究所メモリ技術開発部課長 橋本一彦 ; (株)日立製作所 中央研究所ULSI研究センタ主任研究員 岡崎信次

    p167~277

  • 12月2日(木) コンベンションホールB

    セッションチェアマン:ソニー(株) 半導体生産技術センター副センター長 小島明 ; 大日本印刷(株) ミクロ製品事業部第3営業本部課長 加藤凡典

    p279~392

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
雑誌
Title Transcription
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
Volume
(93)
Author/Editor
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
Author Heading
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1993-11
Publication Date (W3CDTF)
1993-11
Year and volume of publication
[ ]-