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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (94)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(94)

国立国会図書館請求記号
Z16-2540
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3331110
資料種別
雑誌
出版者
SEMIジャパン
出版年
1994-11
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1991-1999

刊行巻次:

[ ]-

一般注記:

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

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目次

  • SEMIテクノロジーシンポジウム94--1994年11月30日(水)~12月2日(金)幕張メッセ・国際会議場コンベンションホールA・B

    運営委員長 (株)東芝 ULSI研究所技監 柏木正弘 ; プログラム委員長 富士通(株) 電子デバイス事業推進本部プロセス開発部長代理 土川春穂

  • 11月30日(水)ホールA 10:00~17:00

    (株)東芝 常任顧問 川西剛

    p1~95

  • 11月30日(水)ホールB 10:00~17:00

    セッションチェアマン:三菱電機(株) ULSI開発研究所LSIプロセス開発第1部次長 平山誠 ; アプライドマテリアルズジャパン(株) 製品統括本部MCVD製品事業部事業部長代理 大澤智

    p97~177

  • 12月1日(木)ホールA 10:00~17:20

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体デバイス技術研究所メモリ技術開発部課長 橋本一彦 ; 富士通(株) 電子デバイス事業推進本部プロセス開発部長代理 土川春穂

    p177~278

  • 12月1日(木)ホールB 9:50~17:00

    セッションチェアマン:(株)日立製作所 半導体事業部技術開発本部プロセス技術開発部副部長 小池淳義 ; 東京エレクトロン東北(株) 開発部部長 中尾賢

    p279~349

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
タイトルよみ
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
巻次・部編番号
(94)
著者・編者
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
著者標目
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版年月日等
1994-11
出版年(W3CDTF)
1994-11
刊行巻次・年月次
[ ]-