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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (94)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(94)

Call No. (NDL)
Z16-2540
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3331110
Material type
雑誌
Publisher
SEMIジャパン
Publication date
1994-11
Publication Frequency
-
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
View All

Notes on use

Holding issue:

1991-1999

Volume Range:

[ ]-

Note (General):

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

Table of Contents

  • SEMIテクノロジーシンポジウム94--1994年11月30日(水)~12月2日(金)幕張メッセ・国際会議場コンベンションホールA・B

    運営委員長 (株)東芝 ULSI研究所技監 柏木正弘 ; プログラム委員長 富士通(株) 電子デバイス事業推進本部プロセス開発部長代理 土川春穂

  • 11月30日(水)ホールA 10:00~17:00

    (株)東芝 常任顧問 川西剛

    p1~95

  • 11月30日(水)ホールB 10:00~17:00

    セッションチェアマン:三菱電機(株) ULSI開発研究所LSIプロセス開発第1部次長 平山誠 ; アプライドマテリアルズジャパン(株) 製品統括本部MCVD製品事業部事業部長代理 大澤智

    p97~177

  • 12月1日(木)ホールA 10:00~17:20

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体デバイス技術研究所メモリ技術開発部課長 橋本一彦 ; 富士通(株) 電子デバイス事業推進本部プロセス開発部長代理 土川春穂

    p177~278

  • 12月1日(木)ホールB 9:50~17:00

    セッションチェアマン:(株)日立製作所 半導体事業部技術開発本部プロセス技術開発部副部長 小池淳義 ; 東京エレクトロン東北(株) 開発部部長 中尾賢

    p279~349

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
雑誌
Title Transcription
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
Volume
(94)
Author/Editor
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
Author Heading
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1994-11
Publication Date (W3CDTF)
1994-11
Year and volume of publication
[ ]-