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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (95)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(95)

国立国会図書館請求記号
Z16-2540
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3331111
資料種別
雑誌
出版者
SEMIジャパン
出版年
1995-12
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1991-1999

刊行巻次:

[ ]-

一般注記:

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

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目次

  • SEMIテクノロジーシンポジウム95--1995年12月6日(水)~8日(金)幕張メッセ 国際会議場コンベンションホールA,B

    運営委員長 (株)東芝 ULSI研究所首席技監 柏木正弘 ; プログラム委員長 富士通(株) 電子デバイス事業推進本部 プロセス開発部部長代理 土川春穗

    p12~12

  • 基調講演--12月6日(水)13:30-14:10 コンベンションホール--"The Role of Korean Semiconductor Industry in the Evolution of 21C Electronics Industry"

    p13~17

  • 12月6日(水) コンベンションホールA 10:00~17:15

    セッションチェアマン:富士通(株) 電子デバイス事業推進本部プロセス開発部第2開発部プロジェクト課長 松永大輔 ; 東京エレクトロン山梨(株) 第2開発技術部部長 田原好文

    p1-1~1-76

  • 12月6日(水) コンベンションホールB 10:00~17:05

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体デバイス技術研究所ULSIデバイス技術研究部課長 橋本一彦 ; 日本電気(株) マイクロエレクトロニクス研究所システムULSI研究部部長 福間雅夫

    p2-1~2-62

  • 12月7日(木) コンベンションホールA 10:00~16:55

    セッションチェアマン:(株)日立製作所 半導体研究センタULSIプロセス開発室主任研究員 岡崎信次 ; キヤノン(株) 半導体機器開発センター半導体機器第3開発部部長 鈴木章義

    p3-1~3-90

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
タイトルよみ
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
巻次・部編番号
(95)
著者・編者
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
著者標目
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版年月日等
1995-12
出版年(W3CDTF)
1995-12
刊行巻次・年月次
[ ]-