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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (95)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(95)

Call No. (NDL)
Z16-2540
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3331111
Material type
雑誌
Publisher
SEMIジャパン
Publication date
1995-12
Publication Frequency
-
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
View All

Notes on use

Holding issue:

1991-1999

Volume Range:

[ ]-

Note (General):

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

Table of Contents

  • SEMIテクノロジーシンポジウム95--1995年12月6日(水)~8日(金)幕張メッセ 国際会議場コンベンションホールA,B

    運営委員長 (株)東芝 ULSI研究所首席技監 柏木正弘 ; プログラム委員長 富士通(株) 電子デバイス事業推進本部 プロセス開発部部長代理 土川春穗

    p12~12

  • 基調講演--12月6日(水)13:30-14:10 コンベンションホール--"The Role of Korean Semiconductor Industry in the Evolution of 21C Electronics Industry"

    p13~17

  • 12月6日(水) コンベンションホールA 10:00~17:15

    セッションチェアマン:富士通(株) 電子デバイス事業推進本部プロセス開発部第2開発部プロジェクト課長 松永大輔 ; 東京エレクトロン山梨(株) 第2開発技術部部長 田原好文

    p1-1~1-76

  • 12月6日(水) コンベンションホールB 10:00~17:05

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体デバイス技術研究所ULSIデバイス技術研究部課長 橋本一彦 ; 日本電気(株) マイクロエレクトロニクス研究所システムULSI研究部部長 福間雅夫

    p2-1~2-62

  • 12月7日(木) コンベンションホールA 10:00~16:55

    セッションチェアマン:(株)日立製作所 半導体研究センタULSIプロセス開発室主任研究員 岡崎信次 ; キヤノン(株) 半導体機器開発センター半導体機器第3開発部部長 鈴木章義

    p3-1~3-90

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
雑誌
Title Transcription
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
Volume
(95)
Author/Editor
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
Author Heading
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1995-12
Publication Date (W3CDTF)
1995-12
Year and volume of publication
[ ]-