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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (96)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(96)

国立国会図書館請求記号
Z16-2540
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3331112
資料種別
雑誌
出版者
SEMIジャパン
出版年
1996-12
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1991-1999

刊行巻次:

[ ]-

一般注記:

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

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目次

  • SEMIテクノロジーシンポジウム96--1996年12月4日(水)~6日(金)幕張メッセ 国際会議場コンベンションホールA,B

    プログラム委員長 三菱電機(株)ULSI開発研究所LSIプロセス開発第1部部長 平山誠

    p11~15

  • 基調講演--12月6日(水)13:15-13:55 コンベンションホール--半導体先進国とそのテクノロジーは大丈夫か

    AAKI Semiconductor Inc.Chairman,President&CEO 石川明 (前Texas Instrumentsセミコンダクターグループ上席副社長)

    p11~15

  • 12月4日(水)コンベンションホールA 10:00~17:05

    セッションチェアマン:日本電気(株) ULSIデバイス開発研究所所長代理 遠藤伸裕 ; アプライドマテリアルズジャパン(株)CVD製品事業部事業部長代理 大澤智

    p1-1~1-71

  • 12月4日(水) コンベンションホールB 10:00~17:15

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体生産技術推進センター半導体プロセス技術第2部プロセス技術第1担当グループ長 塩崎雅一 ; 日本電信電話(株) システムエレクトロニクス研究所第4プロジェクトリーダー 今井和雄 ; 東京エレクトロン東北(株) 開発部部長 中尾賢

    p2-6~2-71

  • 12月5日(木) コンベンションホールA 10:00~17:10

    セッションチェアマン:(株)日立製作所 半導体技術開発センタULSIプロセス開発室主任研究員 岡崎信次 ; キヤノン(株)半導体機器開発センター半導体機器第3開発部長 鈴木章義 ; 日本テキサス・インスツルメンツ(株) ; ULSI技術開発センターGTプロジェクトプロセス技術開発部部長 趙成洙

    p3-1~3-70

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
タイトルよみ
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
巻次・部編番号
(96)
著者・編者
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
著者標目
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版年月日等
1996-12
出版年(W3CDTF)
1996-12
刊行巻次・年月次
[ ]-