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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (96)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(96)

Call No. (NDL)
Z16-2540
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3331112
Material type
雑誌
Publisher
SEMIジャパン
Publication date
1996-12
Publication Frequency
-
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
View All

Notes on use

Holding issue:

1991-1999

Volume Range:

[ ]-

Note (General):

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

Table of Contents

  • SEMIテクノロジーシンポジウム96--1996年12月4日(水)~6日(金)幕張メッセ 国際会議場コンベンションホールA,B

    プログラム委員長 三菱電機(株)ULSI開発研究所LSIプロセス開発第1部部長 平山誠

    p11~15

  • 基調講演--12月6日(水)13:15-13:55 コンベンションホール--半導体先進国とそのテクノロジーは大丈夫か

    AAKI Semiconductor Inc.Chairman,President&CEO 石川明 (前Texas Instrumentsセミコンダクターグループ上席副社長)

    p11~15

  • 12月4日(水)コンベンションホールA 10:00~17:05

    セッションチェアマン:日本電気(株) ULSIデバイス開発研究所所長代理 遠藤伸裕 ; アプライドマテリアルズジャパン(株)CVD製品事業部事業部長代理 大澤智

    p1-1~1-71

  • 12月4日(水) コンベンションホールB 10:00~17:15

    セッションチェアマン:(株)東芝 半導体生産技術推進センター半導体プロセス技術第2部プロセス技術第1担当グループ長 塩崎雅一 ; 日本電信電話(株) システムエレクトロニクス研究所第4プロジェクトリーダー 今井和雄 ; 東京エレクトロン東北(株) 開発部部長 中尾賢

    p2-6~2-71

  • 12月5日(木) コンベンションホールA 10:00~17:10

    セッションチェアマン:(株)日立製作所 半導体技術開発センタULSIプロセス開発室主任研究員 岡崎信次 ; キヤノン(株)半導体機器開発センター半導体機器第3開発部長 鈴木章義 ; 日本テキサス・インスツルメンツ(株) ; ULSI技術開発センターGTプロジェクトプロセス技術開発部部長 趙成洙

    p3-1~3-70

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
雑誌
Title Transcription
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
Volume
(96)
Author/Editor
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
Author Heading
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1996-12
Publication Date (W3CDTF)
1996-12
Year and volume of publication
[ ]-