半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
• タイトルよみ: ハンドウタイ シュウセキ カイロ ギジュツ シンポジウム コウエン ロンブンシュウ
• 巻次・部編番号: 76:2012.7.5・6
• 著者標目: 電気化学会 デンキ カガッカイ ( 00793994 )典拠
• 出版事項: 東京 : 電気化学会電子材料委員会
• 出版年月日等: 2012
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 出版表示等に関する注記: 出版者変遷: 電子化学協会電子材料委員会 (-49回)
• 刊行巻次・年月次: [ ]-
• 大きさ: 26-30cm
• 並列タイトル等: Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology; Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 刊行頻度の変更あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-2637
• 別の記録形式: 他媒体版 : 半導体・集積回路技術シンポジウム [電子資料]; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010415003; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I026244945
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000085147; http://id.ndl.go.jp/bib/000000085147
• 全国書誌番号: 00090832
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131

目次

招待講演 ITRS 2011年版の概要と半導体技術の将来動向

招待講演 超低消費電力LSIデバイス

招待講演 450mm工場の課題と自動化

招待講演 450mmウエハ対応スパッタリングターゲットの開発

招待講演 微細トランジスタにおける特性ばらつきの評価と抑制