半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology

• Material Type: 雑誌
• Title: 半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
• Title Transcription: ハンドウタイ シュウセキ カイロ ギジュツ シンポジウム コウエン ロンブンシュウ
• Volume: 76:2012.7.5・6
• Author Heading: 電気化学会 デンキ カガッカイ ( 00793994 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 電気化学会電子材料委員会
• Publication Date: 2012
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Note (Publication, distribution, etc.): 出版者変遷: 電子化学協会電子材料委員会 (-49回)
• Year and volume of publication: [ ]-
• Size: 26-30cm
• Alternative Title: Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology; Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• NDLC: ZN33
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 刊行頻度の変更あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z43-2637
• Is Format Of: 他媒体版 : 半導体・集積回路技術シンポジウム [電子資料]; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010415003; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I026244945
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000085147; http://id.ndl.go.jp/bib/000000085147
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition

Table of Contents

招待講演 ITRS 2011年版の概要と半導体技術の将来動向

招待講演 超低消費電力LSIデバイス

招待講演 450mm工場の課題と自動化

招待講演 450mmウエハ対応スパッタリングターゲットの開発

招待講演 微細トランジスタにおける特性ばらつきの評価と抑制