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目次
29(4) (通号 160) 2007.7
- 先端LSI技術と信頼性
p.190~233
- 先端LSIにおける配線技術と信頼性 (先端LSI技術と信頼性)
p.190~197
- 高誘電率ゲート絶縁膜の信頼性 (先端LSI技術と信頼性)
p.198~205
- 先端LSIにおけるNBTIの故障物理と評価 (先端LSI技術と信頼性)
p.206~211
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 0919-2697
- ISSN-L
- 0919-2697
- タイトル
- タイトルよみ
- シンライセイ : ニホン シンライセイ ガッカイシ
- 巻次・部編番号
- 29巻4号(通号160) 2007年7月
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2007
- 出版年(W3CDTF)
- 2007