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54(1・2) 1998.12
- TiNおよびTi-Al-N系膜の酸化機構
p.28~39
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- タイトル
- タイトルよみ
- トウホク ダイガク ソザイ コウガク ケンキュウジョ イホウ
- 巻次・部編番号
- 54巻1/2号 1998年12月
- 著者標目
- 東北大学素材工学研究所 トウホク ダイガク ソザイ コウガク ケンキュウジョ ( 01065559 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998
- 出版年(W3CDTF)
- 1998
- 刊行巻次・年月次
- 48巻1/2号(平成4年12月) - 56巻1/2号(平成12年12月)
- 大きさ
- 26cm