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54(1・2) 1998.12
- TiNおよびTi-Al-N系膜の酸化機構
p.28~39
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- Title
- Title Transcription
- トウホク ダイガク ソザイ コウガク ケンキュウジョ イホウ
- Volume
- 54巻1/2号 1998年12月
- Author Heading
- 東北大学素材工学研究所 トウホク ダイガク ソザイ コウガク ケンキュウジョ ( 01065559 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Year and volume of publication
- 48巻1/2号(平成4年12月) - 56巻1/2号(平成12年12月)
- Size
- 26cm