超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム
• タイトルよみ: チョウ LSI ウルトラ クリーン テクノロジー シンポジウム
• 著者・編者: UCS半導体基盤技術研究会 編
• 著者標目: UCS半導体基盤技術研究会 UCS ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• 出版事項: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
• 出版年月日等: 1985-[2000]
• 出版年（W3CDTF）: 1985; 2000
• 刊行状態: 刊行終了
• 刊行巻次・年月次: [1回](昭和60年11月27/29日) - [35回]
• 休・廃刊注記: 35回限り廃刊
• 数量: 冊
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Symposium on ULSI Ultra Clean Technology Symposium on ULSI Ultra Clean Technology
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 20回(1993年12月20/22日) - 33回(1999年5月27/28日) (欠: 28,29回); 19回以前は図書扱い (ND371-E153)
• 請求記号: Z16-B118
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000090196; http://id.ndl.go.jp/bib/000000090196
• 全国書誌番号: 00095911
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131