超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム

Call No. (NDL): Z16-B118
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000090196

Volumes of this title

32巻-33巻 1998年7月-1999年5月 (以後廃刊)

30-31 19970600-19971200

26巻-27巻 1995年12月-1996年3月 (欠28-29)

24-25 19950300-19950700

22-23 19940800-19941100

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Material type: 雑誌

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1985-[2000]

Publication Frequency: -

Material Format: Paper

Publication: 刊行終了

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Notes on use

Holding issue：: 20回(1993年12月20/22日) - 33回(1999年5月27/28日) (欠: 28,29回)19回以前は図書扱い (ND371-E153)

Volume Range：: [1回](昭和60年11月27/29日) - [35回]

Note (Suspension or discontinuance of Publication)：: 35回限り廃刊

Note (General)：: 本タイトル等は最新号による

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Paper

Material Type: 雑誌
Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム
Title Transcription: チョウ LSI ウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Author Heading: UCS半導体基盤技術研究会 UCS ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1985-[2000]
Publication Date (W3CDTF): 1985
2000
Publication status: 刊行終了
Year and volume of publication: [1回](昭和60年11月27/29日) - [35回]
Note (Suspension or discontinuance of publication): 35回限り廃刊
Extent: 冊
Size: 30cm
Alternative Title: Symposium on ULSI Ultra Clean Technology Symposium on ULSI Ultra Clean Technology
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN33
Note (General): 本タイトル等は最新号による
Holding library: 国立国会図書館
Year and volume of holding: 20回(1993年12月20/22日) - 33回(1999年5月27/28日) (欠: 28,29回)
19回以前は図書扱い (ND371-E153)
Call No.: Z16-B118
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000090196
http://id.ndl.go.jp/bib/000000090196
National Bibliography No. (JPNO): 00095911
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 131