超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム 30-31 19970600-19971200

超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム

30-31 19970600-19971200

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Material Type: 雑誌
Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム
Title Transcription: チョウ LSI ウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム
Volume: 30-31 19970600-19971200
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Author Heading: UCS半導体基盤技術研究会 UCS ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1997
Publication Date (W3CDTF): 1997
Year and volume of publication: [1回](昭和60年11月27/29日) - [35回]
Size: 30cm
Alternative Title: Symposium on ULSI Ultra Clean Technology Symposium on ULSI Ultra Clean Technology
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN33
Note (General): 本タイトル等は最新号による
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z16-B118
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000090196
http://id.ndl.go.jp/bib/000000090196
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition