Planarization : CMP & its applications

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 1345-6326
• ISSN-L: 1345-6326
• タイトル: Planarization : CMP & its applications
• 著者標目: 精密工学会 セイミツ コウガッカイ ( 00299339 )典拠
• 出版事項: 福岡 : 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」
• 出版年月日等: 1999-2012
• 出版年（W3CDTF）: 1999; 2012
• 出版表示等に関する注記: 出版地の変更あり
• 刊行状態: 刊行終了
• 刊行頻度: 年刊
• 刊行巻次・年月次: v. 1 (1998)-v. 14 (2012年版)
• 休・廃刊注記: 以後電子資料 (CD-ROM)
• 数量: 冊
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• NDLC: ZN12; ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: v. 1 (1998)-v. 14 (2012年版)
• 請求記号: Z74-B949
• 関連情報: 関連資料 : Planarization [電子資料] (ISSN:2187-8579); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I024429068
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000108334; http://id.ndl.go.jp/bib/000000108334
• 全国書誌番号: 00114261
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
• 整理区分コード: 131