Planarization : CMP & its applications

• Material Type: 雑誌
• ISSN: 1345-6326
• ISSN-L: 1345-6326
• Title: Planarization : CMP & its applications
• Author Heading: 精密工学会 セイミツ コウガッカイ ( 00299339 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 福岡 : 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」
• Publication Date: 1999-2012
• Publication Date (W3CDTF): 1999; 2012
• Note (Publication, distribution, etc.): 出版地の変更あり
• Publication status: 刊行終了
• Publication frequency: 年刊
• Year and volume of publication: v. 1 (1998)-v. 14 (2012年版)
• Note (Suspension or discontinuance of publication): 以後電子資料 (CD-ROM)
• Extent: 冊
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• NDLC: ZN12; ZN33
• Note (General): 本タイトル等は最新号による
• Holding library: 国立国会図書館
• Year and volume of holding: v. 1 (1998)-v. 14 (2012年版)
• Call No.: Z74-B949
• Related Material: 関連資料; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I024429068
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000108334; http://id.ndl.go.jp/bib/000000108334
• National Bibliography No. (JPNO): 00114261
• Cataloging Rule: National Diet Library Cataloging Rules for Serials
• Bibliographic Record Category (NDL): 131