Journal of vacuum science & technology

巻号一覧

21(3)-21(4):1982.9/1982.10-1982.11/1982.

21(1)-21(2):1982.5/1982.6-1982.7/1982.8

20(4):1982.4

20(1)-20(3):1982.1-1982.3

19(4):1981.11/1981.12

出版者: Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics

資料に関する注記

一般注記：: Description based on the latest issue"An official publication of the American Vacuum Society"

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資料種別: 雑誌
ISSN: 0022-5355
タイトル: Journal of vacuum science & technology
出版事項: New York, N.Y. : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics
刊行状態: 刊行終了
刊行頻度: 8 times a year
数量: v
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
NDLC: ZM35
ZN15
一般注記: Description based on the latest issue
"An official publication of the American Vacuum Society"
所蔵機関: 国立国会図書館
所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1(1):1964.9 - 21(4):1982.11/12 (Library lacks: 2)
請求記号: Z53-M259
改題後: 分割後 : Journal of vacuum science & technology. A
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000131402
分割後 : Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000131403
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000000126556
http://id.ndl.go.jp/bib/000000126556
目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
整理区分コード: 231