Journal of vacuum science & technology

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Journal of vacuum science & technology
• 巻次・部編番号: 21(3)-21(4):1982.9/1982.10-1982.11/1982.12
• 出版事項: New York, N.Y. : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics
• 出版年月日等: 1982
• 出版年（W3CDTF）: 1982
• ISSN（掲載誌）: 0022-5355
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: ZM35; ZN15
• 一般注記: Description based on the latest issue; "An official publication of the American Vacuum Society"
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z53-M259
• 改題後: 分割後 : Journal of vacuum science & technology. A; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000131402; 分割後 : Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000131403
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000126556; http://id.ndl.go.jp/bib/000000126556
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則