Atomic collision research in Japan : progress report(29);2003

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Atomic collision research in Japan : progress report
• 巻次・部編番号: (29);2003
• 著者標目: 原子衝突研究協会 ゲンシ ショウトツ ケンキュウ キョウカイ ( 00813895 )典拠
• 出版事項: Tokyo : Society for Atomic Collision Research
• 出版年月日等: 2003-12
• 出版年（W3CDTF）: 2003-12
• 刊行巻次・年月次: [ ] -
• 大きさ: 26 cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: ZM35
• 一般注記: Description based on the latest issue
• DOI: 10.11501/10980424; https://doi.org/10.11501/10980424
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10980424; https://dl.ndl.go.jp/pid/10980424
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2018-03-09
• 受理日（W3CDTF）: 2017-10-31T09:53:01+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: (7):1981 - (29):2003; Previous issues catalogued as monograph
• 請求記号: Z63-B162
• 原資料（JPNO）: 10038315
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10980438; https://dl.ndl.go.jp/pid/10980438
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

CONTENTS//5～8

I ELECTRON IMPACT//1～10

Quantitative analysis of CF₄ produced in the SiO₂ etching process by c-C₄F₈, C₃F₈, and C₂F₆ plasmas using in-situ mass spectrometry/K. Furuya ; Y. Hatano/1～2

Generalized oscillator strength of nitric oxide for the valence shell excitations/N. Miyauchi ; H. Kuwabara ; L. F. Zhu ; Y. Ikeda ; Y. Sakai ; H. Suzuki ; T. Takayanagi ; C. Yamada ; S. Ohtani/3～4

Elastic scattering of electrons from water molecules/T. Ono ; M. Takahashi ; K. Tanaka ; K. Soejima ; A. Danjo/5～7