Journal of Vacuum Science & Technology B : nanotechnology & microelectronics: materials, processing, measurement, & phenomena

Journal of Vacuum Science & Technology. B : nanotechnology & microelectronics: materials, processing, measurement, & phenomena

巻号一覧

41(6):2023.11/12

41(5):2023.9/10

41(4):2023.7/8

41(3):2023.5/6

41(2):2023.3/4

出版者: Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics

資料に関する注記

一般注記：: Description based on the latest issueVariant title: JVST. BSubtitle varies

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資料種別: 雑誌
ISSN: 1071-1023
2166-2746
タイトル: Journal of Vacuum Science & Technology
巻次・部編番号: B : nanotechnology & microelectronics: materials, processing, measurement, & phenomena
出版事項: New York, N.Y. : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics
刊行状態: 不明
刊行頻度: 6 times a year
数量: v.
大きさ: 28cm
並列タイトル等: JVST. B
Journal of vacuum science & technology. B
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
表現種別: text
機器種別: unmediated
キャリア種別: volume
NDLC: ZM35
ZN33
一般注記: Description based on the latest issue
Variant title: JVST. B
Subtitle varies
所蔵機関: 国立国会図書館
所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 2nd Ser. 9(1):1991.1/2 - 2nd Ser. 41(6):2023.11/12
請求記号: Z53-Y133
改題前: 継続前 : Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000131403
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000000156914
http://id.ndl.go.jp/bib/000000156914
目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
整理区分コード: 231