Journal of Vacuum Science & Technology. B : nanotechnology & microelectronics: materials, processing, measurement, & phenomena

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Journal of Vacuum Science & Technology
• 巻次・部編番号: B : nanotechnology & microelectronics: materials, processing, measurement, & phenomena; 41(5):2023.9/10
• 出版事項: New York, N.Y. : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics
• 出版年月日等: 2023
• 出版年（W3CDTF）: 2023
• 大きさ: 28cm
• 並列タイトル等: JVST. B; Journal of vacuum science & technology. B
• ISSN（掲載誌）: 1071-1023; 2166-2746
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• NDLC: ZM35; ZN33
• 一般注記: Description based on the latest issue; Variant title: JVST. B; Subtitle varies
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z53-Y133
• 改題前: 継続前 : Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000131403
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000156914; http://id.ndl.go.jp/bib/000000156914
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則