ヘリウム・イオンによるスパッタリングの研究 : スパッタリング収率の照射量および温度依存

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: ヘリウム・イオンによるスパッタリングの研究 : スパッタリング収率の照射量および温度依存
• タイトルよみ: ヘリウム イオン ニ ヨル スパッタリング ノ ケンキュウ : スパッタリング シュウリツ ノ ショウシャリョウ オヨビ オンド イソン
• 著者・編者: 富田道男 [著]
• 著者標目: 富田, 道男 トミタ, ミチオ
• 数量: 冊
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 昭和61年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1986
• 報告番号: 乙第5877号
• 学位: 工学博士
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51; UT31
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-61-E378
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000167762; http://id.ndl.go.jp/bib/000000167762
• 整理区分コード: 213