ヘリウム・イオンによるスパッタリングの研究 : スパッタリング収率の照射量および温度依存

• Material Type: 博士論文
• Title: ヘリウム・イオンによるスパッタリングの研究 : スパッタリング収率の照射量および温度依存
• Title Transcription: ヘリウム イオン ニ ヨル スパッタリング ノ ケンキュウ : スパッタリング シュウリツ ノ ショウシャリョウ オヨビ オンド イソン
• Author/Editor: 富田道男 [著]
• Author Heading: 富田, 道男 トミタ, ミチオ
• Extent: 冊
• Degree Grantor: 京都大学
• Date Granted: 昭和61年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 1986
• Dissertation Number: 乙第5877号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-61-E378
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000167762; http://id.ndl.go.jp/bib/000000167762
• Bibliographic Record Category (NDL): 213