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博士論文

超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究

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超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-61-L350
国立国会図書館書誌ID
000000169029
資料種別
博士論文
著者
柏木忠 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,工学博士
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書誌情報

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紙

資料種別
博士論文
タイトル
超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究
タイトルよみ
チョウLSI カイハツ ニ オケル パターン ノ ビサイカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
柏木忠 [著]
著者標目
柏木, 忠 カシワキ, タダシ
数量
冊
授与機関名
大阪大学
授与年月日
昭和61年5月23日
授与年月日（W3CDTF）
1986
報告番号
乙第3910号