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博士論文

超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究

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超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-61-L350
Bibliographic ID of National Diet Library
000000169029
Material type
博士論文
Author
柏木忠 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究
Title Transcription
チョウLSI カイハツ ニ オケル パターン ノ ビサイカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
柏木忠 [著]
Author Heading
柏木, 忠 カシワキ, タダシ
Extent
冊
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
昭和61年5月23日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
乙第3910号