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博士論文

サファイア上及び酸素イオン注入により形成した絶縁層上のシリコン薄膜の評価に関する研究

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サファイア上及び酸素イオン注入により形成した絶縁層上のシリコン薄膜の評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-60-R213
国立国会図書館書誌ID
000000175565
資料種別
博士論文
著者
林孝好 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋大学,工学博士
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書誌情報

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資料種別
博士論文
タイトルよみ
サファイアジョウ オヨビ サンソ イオン チュウニュウ ニ ヨリ ケイセイシタ ゼツエンソウジョウ ノ シリコン ハクマク ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
林孝好 [著]
著者標目
林, 孝好 ハヤシ, タカヨシ
数量
授与機関名
名古屋大学
授与年月日
昭和60年8月1日
授与年月日(W3CDTF)
1985
報告番号
乙第2882号