サファイア上及び酸素イオン注入により形成した絶縁層上のシリコン薄膜の評価に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: サファイア上及び酸素イオン注入により形成した絶縁層上のシリコン薄膜の評価に関する研究
Title Transcription: サファイアジョウオヨビサンソイオンチュウニュウニヨリケイセイシタゼツエンソウジョウノシリコンハクマクノヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 林孝好 [著]
Author Heading: 林, 孝好ハヤシ, タカヨシ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 名古屋大学
Date Granted: 昭和60年8月1日
Date Granted (W3CDTF): 1985
Dissertation Number: 乙第2882号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-60-R213
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000175565
http://id.ndl.go.jp/bib/000000175565
Bibliographic Record Category (NDL): 213