スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スパッタリングホウ ニ ヨッテ サクセイシタ a-Si1-x Cx ハクマク ノ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 井上尚三 [著]
- 著者標目
- 井上, 尚三 イノウエ, ショウゾウ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 昭和62年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1987
- 報告番号
- 甲第3578号