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博士論文

スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究

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スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-62-E382
Bibliographic ID of National Diet Library
000000178577
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/13040397
Material type
博士論文
Author
井上尚三 [著]
Publisher
-
Date granted
昭和62年3月26日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究
Title Transcription
スパッタリングホウ ニ ヨッテ サクセイシタ a-Si1-x Cx ハクマク ノ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
井上尚三 [著]
Author Heading
井上, 尚三 イノウエ, ショウゾウ
Extent
冊
Degree Grantor
大阪大学
Date Granted
昭和62年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1987
Dissertation Number
甲第3578号