スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究

Call No. (NDL): UT51-62-E382
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000178577
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13040397

Material type: 博士論文

Author: 井上尚三 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 大阪大学,工学博士

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究
Title Transcription: スパッタリングホウニヨッテサクセイシタ a-Si1-x Cx ハクマクノコウゾウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 井上尚三 [著]
Author Heading: 井上, 尚三イノウエ, ショウゾウ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 昭和62年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 1987
Dissertation Number: 甲第3578号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-62-E382
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000178577
http://id.ndl.go.jp/bib/000000178577
Bibliographic Record Category (NDL): 213