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博士論文

対向ターゲット式スパッタ法の開発とその薄膜形成への応用に関する研究

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対向ターゲット式スパッタ法の開発とその薄膜形成への応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-59-J167
国立国会図書館書誌ID
000000207814
資料種別
博士論文
著者
星陽一 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京工業大学,工学博士
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書誌情報

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紙

資料種別
博士論文
タイトル
対向ターゲット式スパッタ法の開発とその薄膜形成への応用に関する研究
タイトルよみ
タイコウ ターゲットシキ スパッタホウ ノ カイハツ ト ソノ ハクマク ケイセイ ヘ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
星陽一 [著]
著者標目
星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
数量
冊
授与機関名
東京工業大学
授与年月日
昭和58年12月31日
授与年月日（W3CDTF）
1983
報告番号
乙第1295号